爱游戏,上海微电子：借助前人经验 加速中国光刻机研发

【机床商务网 国内旧事】客岁，一台价值1.06亿元装备经空运从荷兰飞抵厦门，因为该装备价值高，并且对保留和运输有着很高的要求——保留温度必需连结在23摄氏度恒温状况下，为了不影响装备的精度，在运输中也对不变性有极高的要求。是以，机场海关以机坪检验的体例对该货色实施全程机边监管，待货色装入特制温控气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下，在完成告急检验后当晚就放行。　　没错，这台装备就是荷兰ASML的光刻机。铁流猜想，这台装备很有多是厦门本地当局与中国中国台湾联华电子合伙的晶圆厂从荷兰ASML采购的。不外，因为西方瓦森纳和谈的限制，中国只能买到ASML的中低产物，这一点从厦门本地企业进口的光刻机报价仅1亿人平易近币便可以看出来了。　　今朝，光刻机范畴的老迈是荷兰ASML，并已占有了高达80%的市场份额，垄断了光刻机市场，日本尼康在光刻机上完全被ASML击败，即使尼康的ArF光刻机售价仅为ASML的一半也无补在事。Intel、台积电、三星用来加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML，格罗方德、联电和中芯等晶圆厂的光刻机首要也是来自ASML。　　更要害的是，进步前辈的EUV光刻机唯一ASML可以或许出产，ASML在客岁第三季度和第四时度出售的两台EUV光刻机售价都跨越1亿美元，掉队EUV一代的ArF光刻机平均售价也在4000万至5000万欧元摆布，从高企的报价和EUV光刻机仅此一家出售能够看出，光刻机的手艺门坎极高，是人类聪明集年夜成的产品。　　比拟之下，国内光刻机厂商则显得很是寒酸，处在手艺的上海微电子设备无限公司已量产的光刻机中机能好的是能用来加工90nm芯片的光刻机，手艺差距说是鸿沟都不为过，恰是是以，国内晶圆厂所需的光刻机完全依靠进口。　　据动静人士表露，上海微电子订了一批Bumotec机床。Bumotec是瑞士斯达拉格旗下的子品牌，能制造的加工光学仪器的机床，听说比ASML用的德国机床还好点——常人耳熟能详的那些机床，和斯达拉格不是一个世界的，斯达拉格专攻����Ϸapp高精尖制造范畴的制造装备，所以晓得这个公司的人很是少。但名望小不料味着手艺就不。　　在本土机床还具有必然手艺差距的环境下，经由过程这类体例有助在晋升中国光刻机的研发进度和手艺晋升。诚然，在采购瑞士机床的同时，国内也要做好国产化替换工作，实现两条腿走路。　　别的，关在上微和ASML合作的动静，有伴侣在微信上留言，思疑上微是否是要当伪军，但其实并不是如斯。首要是上微的一些手艺和ASML的比力阿谁啥，然后ASML就打讼事，但一向没成果，中国当局也在中心调和。后ASML弄的很烦了，索性就以合作的表面，拿一笔钱，就不打讼事了。所以这个合作其实不意味着上微要当伪军。而是继续走自立研发之路，只不外在前行当中可能会鉴戒一些前人摸索出来的捷径。 （原题目：上海微电子采购Bumotec机床 加快中国光刻机研发） （来历：上海微电子） ,爱游戏报道